用于远紫外线辐射光刻的方法和设备.pdf

本发明涉及一种使用来自多个激光器对等离子体的激发进行远紫外线辐射光刻的方法和设备。要进行光刻的目标位于照射窗口之后。辐射线包括N个连续的电流脉冲，对其表面能量进行测量。特别地，每个激光器在每次开始时发射具有给定持续时间的能量量子。然后将目标在前N－1个脉冲过程中所接收到的辐射表面能量进行加和，用于迭代方法的第n次迭代中。感光目标位移的距离等于照射窗口在所述平移轴向上宽度的1/N。从光刻方法所需的总能量值中减去上述总和。通过具体选择要开启的激光源的相应数量，对为了获得总能量值而要提供的剩余能量值，以及第n个脉冲所要产生的剩余脉冲量子数进行确定。从而为发出脉冲，对所选的激光器进行触发。