您还有0次抽奖机会
锤子
消耗积分 : 50积分 移动终端:免积分
提供一种具有高工作性能和高可靠性的电路的半导体器件,并提高了半导体器件的可靠性,从而提高具有该半导体器件的电子设备的可靠性。上述目标通过结合下面的步骤来实现,即在沿一个方向扫描的同时,通过用连续波激光束或重复频率为10MHz或更大的脉冲激光束的辐射来使半导体层结晶的步骤;使用包括辅助图形的光掩膜或掩膜原版的光刻步骤,所述辅助图形由具有降低光强度功能的衍射光栅图形或半透射膜构成;以及通过使用具有低电子温度的高密度等离子体,对半导体膜、绝缘膜或导电膜的表面进行氧化、氮化或表面改性的步骤。
打开失败或需在电脑查看,请在电脑上的资料中心栏目,点击"我的下载"。建议使用手机自带浏览器。