您还有0次抽奖机会
锤子
消耗积分 : 50积分 移动终端:免积分
本发明的目的是提供一种可以简单的步骤制造具有绝缘膜、半导体膜、导电膜等的膜图案的衬底的方法,以及以低成本、高产量、高成品率来制造半导体器件的方法。本发明的半导体器件的制造方法包括以下步骤:在衬底上形成第一膜;在所述第一膜上排放含有掩模材料的溶液以在所述第一膜上形成掩模;使用所述掩模对所述第一膜进行图案化以在所述衬底上形成低润湿性区域和高润湿性区域;去除所述掩模;以及,向夹在所述低润湿性区域之间的高润湿性区域中排放含有绝缘膜、半导体膜或导电膜材料的溶液,以形成绝缘膜、半导体膜或导电膜的图案。
打开失败或需在电脑查看,请在电脑上的资料中心栏目,点击"我的下载"。建议使用手机自带浏览器。