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锤子
用于角分解光谱光刻表征的方法与设备.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/19 20:33:48
- 文件大小：1449K
- 下载次数：0
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简介：
一种通过在一高数值孔径透镜的光瞳面中测量一角分解光谱从而确定基底特性的设备与方法，所述角分解光谱是由反射离开所述基底的辐射形成的。所述特性可依角度和波长而变化，并可包括横向磁和横向电偏振光的强度及其相对相位差。
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