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锤子
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本申请公开了吸盘、具有吸盘的光刻投影设备,以便容易快速地从吸盘上拆卸基底。其中,静电吸盘的介电元件具有至少10~(16)Ωcm的电阻率,以便当吸盘电极之间的电位差被去除时,被夹持物件上的力能快速减小到预定最小值以下。该介电元件还具有小于0.02×10~(-6)K~(-1)的热膨胀系数。还公开了一种制造吸盘的方法,其步骤包括将玻璃陶瓷元件与玻璃元件连接起来并在它们间夹有电极,其中,电流通过该第二玻璃元件。还公开了一种其中使用吸盘的器件制造方法。本发明的吸盘可用于利用静电力将器件保持到支承台上,本发明的光刻投影设备可用于制造集成电路。
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