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锤子
用于制造半导体器件的方法.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/21 15:47:45
- 文件大小：1764K
- 下载次数：0
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简介：
在制造一种薄膜晶体管中,在一个衬底上形成一个非晶硅膜之后,通过利用含有作为促进硅结晶的金属元素的镍的溶液(乙酸镍溶液)的旋涂和通过热处理来形成一个硅化镍层。该硅化镍层选择地被构图以便形成岛状硅化镍层。非晶硅膜被构图。在移动激光器时辐照激光,以致于从硅化镍层被形成的区域产生晶体生长,和获得一个等效于单晶(单域区)的区域。
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