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锤子
半导体部件及其制造方法.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/21 15:51:33
- 文件大小：1342K
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简介：
半导体部件包括一RESURF晶体管(100,200,300,400,500),该晶体管包括具有第一导电类型的第一半导体区(110,210,310,410,510)和位于第一半导体区上面并具有第二导电类型的电浮动半导体区(115,215,315,415,515,545)。RESURF晶体管进一步包括位于电浮动半导体区上面并具有第一导电类型的第二半导体区(120,220,320,420,520),位于第二半导体区上面并具有第一导电类型的第三半导体区(130,230),和第二半导体区上面并具有第二导电类型的第四半导体区(140,240,340,440,540)。在一个特定实施例中,当在第三半导体区和第四半导体区之间施加反向偏压时,第四半导体区和电浮动半导体区使第二半导体区耗尽。
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