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锤子
半导体器件制造方法以及激光辐照设备.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/21 16:48:59
- 文件大小：2176K
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简介：
本发明的目的是提供一种制造结晶半导体膜的方法,它包含：利用用来促进晶化的金属元素进行晶化以便控制取向的步骤,以及辐照一次激光以便形成具有以规则间距排列在网格图形中的小晶粒的结晶半导体膜的步骤。在根据上述目的提出的本发明中,以借助于将用来促进晶化的金属元素加入到非晶半导体膜而形成结晶半导体膜并将其偏振方向受到控制的脉冲激光辐照到其上的方式,脊在结晶半导体膜表面上形成网格图形。半波片或镜被用作用来控制偏振方向的装置。
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