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锤子
照射激光的方法、激光照射系统和半导体器件的制造方法.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/21 16:52:32
- 文件大小：2642K
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简介：
在半导体器件的制造工艺中,当CW激光器的谐波照射到半导体膜上并相对扫描该谐波时,形成几个沿扫描方向延伸的长晶粒。在该扫描方向上,这样形成的半导体膜在特性上基本接近单晶体。然而,CW激光器的谐波的输出小,从而造成了低的退火效率。在本发明中,通过将CW激光器的二次谐波和CW激光器的基波同时照射到相同的部分来执行对输出的辅助。通常,所述基波具有1μm左右的波长带,并且在半导体膜中吸收得不是很好。当将具有可见光波长的谐波或者具有短于可见光的波长的谐波与基波同时照射到半导体膜上时,由于所述基波在由谐波融化的半导体膜中吸收得很好,所以退火效率就显著地得到提高。
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