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锤子
半导体器件及其制作方法.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/21 16:52:59
- 文件大小：1596K
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简介：
本发明目的是获得具有良好的特性的薄膜晶体管。使镍元素与非晶质膜203的特定的区域205保持选择性地接连。采用施行加热处理的办法使之结晶化,再在含卤族元素的氧化性气氛中施行加热处理的办法形成热氧化膜。这时进行结晶性的改善和镍元素的吸杂。这种结晶性硅膜将变成具有从多点放射状地进行了结晶生长的那样的构造。于是可得到具有良好的特性的TFT。
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