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锤子
光刻设备、器件制造方法、及由此制造的器件.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/21 16:57:22
- 文件大小：1662K
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消耗积分 : 50积分 移动终端：免积分
简介：
一种包含可移动物体的光刻设备。这些可移动物体的位置可以用位置控制系统来控制。位置控制系统包含位置控制器(6)、表示为物体滤波器(Ho)的物体、位置反馈电路(22)、以及加速控制系统(34)。加速控制系统(34)包含减法器(8)以及第一电路支路中的第一滤波器(Hf)和第二电路支路中的第二滤波器(Hs)。从位置控制器(6)输出的位置控制器信号(Fp),被输入到加速控制系统(34)的减法器(8)中。但外部干扰力(Fd)被直接施加在物体(Ho)上。于是,对位置控制器力(Fp)的从减法器(8)的输入到物体(Ho)的加速度的第一传递函数(G1)可以不同于对干扰力(Fd)的从物体(Ho)的输入到物体(Ho)的加速度的第二传递函数(G2)。
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