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锤子
连续地直接写的光刻技术.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/21 17:15:26
- 文件大小：4172K
- 下载次数：0
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消耗积分 : 50积分 移动终端：免积分
简介：
一种光刻系统包括：光源、空间光调制器、成像光学器件和相对于空间光调制器连续地移动光敏衬底的装置。该空间光调制器包括至少一个阵列的可单独切换元件。空间光调制器被连续地照射并且空间光调制器的图像连续地投影在衬底上；随后,图像恒定地移过衬底的表面。在图像移过表面的同时,空间光调制器的元件被切换以使在衬底的表面的像素从空间光调制器的多个元件中依次地接收能量计量,由此在衬底表面上形成潜像。成像光学器件被构造成将空间光调制器的模糊图像投影在衬底上,实现子像素分辨率边缘布置。
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