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锤子
消耗积分 : 50积分 移动终端:免积分
一种光刻装置包括支撑基底的基底台和使基底相对基底台移动的基底搬运器。基底搬运器适合于在曝光之前和之后将基底装载到基底台上和从基底台上卸载基底。此外,清洁气体供给系统向布置有基底的至少一个位置提供清洁气体。清洁气体供给系统可移动地安装。利用所述光刻装置的器件制造方法可以用于制造平板显示器和集成电路器件中的至少一个。
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