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锤子
确定光刻投影参数的方法、器件制造方法及器件.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/21 19:39:23
- 文件大小：1238K
- 下载次数：0
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简介：
所述方法包括以下步骤：选择待映射的图案的特征；抽象地将源划分为多个源元素；对于每一个源元素,计算每一个选择的特征的过程窗口以及优化所计算的过程窗口的重叠的OPC规则。最后,选择过程窗口重叠和OPC规则满足指定标准的那些源元素。所述选择的源元素确定源强度分布。
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