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锤子
夹盘、光刻装置和器件制造方法.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/21 19:56:29
- 文件大小：1061K
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简介：
本发明公开了一种用于通过静电力将制品固定在支撑台上的夹盘,所述制品为：将在制造设备中采用光刻投影技术来加工的衬底；或光刻投影装置、掩膜处理装置、或者掩膜制造装置中的光刻投影掩膜或掩膜坯件。所述夹盘包括第一介质元件。在所述介质元件的朝向所述制品的一侧上设有多个引脚；所述引脚为导电引脚,其穿过所述介质元件的整个深度并与一导电元件相连,用于降低约翰逊拉别克力,并允许更快地释放衬底。
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