您还有0次抽奖机会
锤子
消耗积分 : 50积分 移动终端:免积分
一种光刻装置,其包括:用于提供辐射投射光束的照明系统;物品支架,其用于在所述物品支架上支撑放置于所述辐射投射光束的光束路径中的扁平物品,该物品支架包括多个支撑突起,所述多个突起限定用于提供支架的平面的支撑区域;以及回填气馈送口,其包括设置在所述支撑区域中的回填气体排放区,用于在所述物品由所述物品支架支撑时将回填气体馈送到所述物品的后部,用以在所述物品和所述物品支架之间提供改进的热传导。根据本发明,所述回填气体排放区基本上围住所述支撑区域.
打开失败或需在电脑查看,请在电脑上的资料中心栏目,点击"我的下载"。建议使用手机自带浏览器。