您还有0次抽奖机会
锤子
使用空间光调制器阵列的无掩模光刻系统和方法.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/21 21:09:09
- 文件大小：1228K
- 下载次数：0
-
消耗积分 : 50积分 移动终端：免积分
简介：
一种用于在目标物上写入图案的无掩模光刻系统。该系统可包括照明系统,目标物,空间光调制器(SLM),和控制器。在目标物接收光之前,SLM可使来自照明系统的光形成图案。SLM可包括前组SLM和后组SLM。前和后组中的SLM根据目标物的扫描方向而改变。控制器可根据光脉冲期间信息,有关SLM物理布局信息,和目标物扫描速度其中至少之一,来发送控制信号。通过使用多种方法,该系统还可校正剂量的非均匀性。
打开失败或需在电脑查看，请在电脑上的资料中心栏目，点击"我的下载"。建议使用手机自带浏览器。
推荐学习更多>>
-
￥50 -
￥50
-
￥50
-
￥50
- 注意：
- 1、下载文件需消耗流量，最好在wifi的环境中下载，如果使用3G、4G下载，请注意文件大小。
- 2、下载的文件一般是pdf、word文件，下载后如不能直接浏览，可到应用商店中下载相应的阅读器APP。
- 3、下载的文件如需解压缩，如果手机没有安装解压缩软件，可到应用商店中下载相应的解压缩APP。