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锤子
本发明涉及一种用于将图形转移到目标的表面上的无掩模光刻系统,包括产生多个小射束的至少一个束发生器、包括调制小射束的幅值的多个调制器的调制装置和控制每个调制器的控制单元,其中控制单元产生图形数据并将其传送给所说的调制装置以控制每个单个小射束的幅值,该控制单元包括存储图形数据的至少一个数据存储装置、从数据存储装置读出图形数据的至少一个读出单元、将从数据存储装置中读出的图形数据转换为至少一个调制的光束的至少一个数据转换器和将所说的至少一个调制的光束发送给所说的调制装置的至少一个光发送器。
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