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锤子
光刻装置和器件制造方法.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/22 11:23:07
- 文件大小：1615K
- 下载次数：0
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简介：
一种光刻投影装置,其设置成使用投影系统来将图案从图案形成装置投射到衬底上,具有设置成可将液体供给到所述投影系统与衬底之间的空间中的液体供给系统,还包括液体去除系统,所述液体去除系统包括：具有与存在有液体的体积相邻的敞开端的导管；位于所述导管的端部与所述体积之间的多孔件；设置成可在所述多孔件上形成压力差的抽吸装置；和至少部分地围绕着所述空间的构件,所述导管包括处于所述构件的朝向衬底的表面中的凹部,所述多孔件封闭了所述凹部,所述多孔件具有直径处于5至50微米的范围内的孔。本发明还提供了一种器件制造方法。
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