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锤子
光刻投影组件、装载锁闭装置和转移物体的方法.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/22 11:34:50
- 文件大小：2485K
- 下载次数：0
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消耗积分 : 50积分 移动终端：免积分
简介：
光刻投影组件,包括用于在第一环境和第二环境之间转移物体特别是基底的至少一个装载锁闭装置,第二环境优选具有比第一环境低的气压；包括处理室的物体处理器,在处理室中第二环境占优势；和包括投影室的光刻投影装置。所述处理室和投影室为了转移物体而相通。所述装载锁闭装置包括装载锁闭装置室；排气装置,用来将所述的装载锁闭装置室排气；和门装置,用于在排气过程中关闭所述装载锁闭装置室,和用于打开所述装载锁闭装置室以使物体进入所述装载锁闭装置室或从所述装载锁闭装置室移除物体。所述装载锁闭装置室设有至少两个彼此不同的物体支承位置。
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