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锤子
光刻系统中用于可变偏振控制的方法与设备.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/22 11:37:29
- 文件大小：822K
- 下载次数：0
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消耗积分 : 50积分 移动终端：免积分
简介：
一种用于光刻系统中的偏振控制装置,用以选择地偏振光于水平、垂直及/或圆形指向。一对相对可旋转的四分之一波片移动以提供想要的偏振。当该对四分之一波片呈相对45度角时,偏振为圆形。当该对四分之一波片均为零度或45度时,所得的偏振为垂直或水平。偏振基于予以投影的图像的指向加以选择。水平偏振较佳用于具有强水平指向的图像,垂直偏振系被选择用于具有强垂直指向的图像。当图像没有强的水平或垂直指向时,选择圆形指向。
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