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锤子
光刻设备、收集器和器件制造方法.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/22 11:40:47
- 文件大小：1310K
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简介：
一种光刻设备,包括：照明系统,用于提供辐射的投射光束；支撑结构,用于支撑构图装置,该构图装置用于使投射光束在其横截面上具有图案；衬底台,用于支承衬底；投射系统,用于将带图案的光束投射到衬底的目标部分上；以及收集器,被设置成用于将从第一辐射源接收的辐射传输到照明系统上,其中所述设备包括至少一个加热器,以在收集器没有从第一辐射源接收辐射时加热该收集器,其中所述加热器至少包括或者连接到一个控制器,用于控制所述加热器,而且所述控制器设置成当第一辐射源不作用时启动加热器。本发明还提供一种收集器和器件制造方法。
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