基板以及用于确定光刻中基板的位置的系统.pdf

本发明涉及一种包括光学位置标记(100)的基板(12,513),该标记用于以光学记录头(500)读出以发射具有预确定波长的光,优选地为红色或红外线光,尤其为具有635nm的光,该光学位置标记(100)具有标记高度(MH)、标记长度(ML)和在该基板(12,513)上预确定的已知位置,该光学位置标记(100)沿纵向方向(x)延伸并且被布置成用于改变该位置标记(100)沿所述纵向方向(x)的反射系数,其中该光学位置标记(100)包括：第一区域(101),其具有第一反射系数和第一宽度(W)；第二区域(102),其与第一区域(101)相邻并形成第一区域对(105),该第二区域(102)具有第二反射系数和第二宽度(W),并且第二反射系数与第一反射系数不同,其中该第一区域(101)包括相对于预设定波长光的波长的次波长结构(SWS)。