您还有0次抽奖机会
锤子
化合物、光刻用下层膜形成材料、光刻用下层膜及图案形成方法.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/23 9:09:21
- 文件大小：2548K
- 下载次数：0
-
消耗积分 : 50积分 移动终端：免积分
简介：
本发明的光刻用下层膜形成材料,其含有下述通式(1)所示的化合物。(式(1)中,X各自独立地是氧原子或硫原子,R～1是单键或碳原子数为1～30的2n价的烃基,该烃基可以具有环式烃基、双键、杂原子或碳原子数为6～30的芳香族基团,R～2各自独立地是碳原子数为1～10的直链状、支链状或环状的烷基、碳原子数为6～10的芳基、碳原子数为2～10的烯基或羟基,在此,R～2的至少一个是羟基,m各自独立地是1～4的整数,n是1～4的整数,p是0或1。)
打开失败或需在电脑查看，请在电脑上的资料中心栏目，点击"我的下载"。建议使用手机自带浏览器。
推荐学习更多>>
-
￥50 -
￥50
-
￥50
-
￥50
- 注意：
- 1、下载文件需消耗流量，最好在wifi的环境中下载，如果使用3G、4G下载，请注意文件大小。
- 2、下载的文件一般是pdf、word文件，下载后如不能直接浏览，可到应用商店中下载相应的阅读器APP。
- 3、下载的文件如需解压缩，如果手机没有安装解压缩软件，可到应用商店中下载相应的解压缩APP。