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锤子
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一种集成极紫外线坯料生产系统包括:用于将基板置放在真空中的真空腔室;沉积系统,所述沉积系统用于沉积多层堆叠物而不从真空移除基板;以及处理系统,所述处理系统用于处理多层堆叠物上的层,所述层待沉积为非晶金属层。一种用于制造极紫外线掩模坯料的物理气相沉积腔室包括:靶材,所述靶材包含与硼合金的钼。一种极紫外线光刻系统包括:极紫外线光源;镜,所述镜用于导向来自所述极紫外线光源的光;中间掩模台,所述中间掩模台用于置放具有多层堆叠物的极紫外线掩模坯料,所述多层堆叠物具有非晶金属层;以及晶片台,所述晶片台用于置放晶片。一种极紫外线坯料包括:基板;具有非晶金属层的多层堆叠物;以及位于所述多层堆叠物之上的覆盖层。
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