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锤子
压印光刻法的矩形基材和制备方法.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/23 9:38:28
- 文件大小：1135K
- 下载次数：0
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简介：
通过提供具有研磨的前后表面和四个侧面的起始矩形基材,和在恒压下将旋转抛光垫垂直地压靠于一个侧面,和使该旋转抛光垫和该基材平行于该侧面相对运动,由此抛光该基材的该侧面,从而制备矩形基材。在压印光刻法中,该矩形基材能够以高精度控制压缩和图案形状,并由此能将微细特征尺寸的复杂图案转印至接收体。
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