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锤子
光刻设备和数据处理设备.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/26 8:24:37
- 文件大小：1877K
- 下载次数：0
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消耗积分 : 50积分 移动终端：免积分
简介：
一种光刻设备使用光学投影系统将图案施加到衬底上。该光刻设备包括光学水平传感器(LS)和相关联的处理器以在施加所述图案之前获得衬底表面的高度图(h(x,y))。控制器在施加所述图案时控制投影系统的聚焦。处理器还被布置成使用关于在先前施加到衬底上的处理的信息来限定衬底的至少第一区域和第二区域并且在第一区域与第二区域之间改变使用所述测量信号来控制聚焦的方式。例如,用来从光学测量信号(S(x,y))计算高度值的算法(A(x,y))可以根据在已知结构和/或材料中的差异而改变。来自某些区域的测量值可以被选择性地从高度图的计算和/或聚焦时的使用中排除。
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