您还有0次抽奖机会
锤子
用于EUV光刻的防护薄膜组件.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/26 9:17:17
- 文件大小：2005K
- 下载次数：0
-
消耗积分 : 50积分 移动终端：免积分
简介：
提供了一种用于EUV光刻的防护薄膜组件。所述用于EUV光刻的防护薄膜组件包括形成在第一无机层上的第一结合层和具有碳纳米结构的强度增强层,其中,第一结合层增强第一无机层与强度增强层之间的结合力,通过包括具有碳纳米结构的强度增强层来提高防护薄膜组件膜的强度。此外,根据另一示例,提供了一种用于EUV光刻的防护薄膜组件和一种用于制造所述防护薄膜组件的方法。用于EUV光刻的防护薄膜组件是包括多个孔且由消光系数为0.02或更小的材料制成的多孔薄膜,其中,所述孔具有1μm或更小的直径。因此,防护薄膜组件可以被制造成具有高的EUV透射率且厚,从而确保改善的强度。
打开失败或需在电脑查看，请在电脑上的资料中心栏目，点击"我的下载"。建议使用手机自带浏览器。
推荐学习更多>>
-
￥50 -
￥50
-
￥50
-
￥50
- 注意：
- 1、下载文件需消耗流量，最好在wifi的环境中下载，如果使用3G、4G下载，请注意文件大小。
- 2、下载的文件一般是pdf、word文件，下载后如不能直接浏览，可到应用商店中下载相应的阅读器APP。
- 3、下载的文件如需解压缩，如果手机没有安装解压缩软件，可到应用商店中下载相应的解压缩APP。