含芴的感光性树脂、其制备方法及具有其的光固化组合物和光刻胶.pdf

本发明提供了一种含芴的感光性树脂、其制备方法及具有其的光固化组合物和光刻胶。该感光性树脂具有下述通式(I)所示的结构：其中,R₁为氢、C₁～C₁₀的直链和支链烷基、C₆～C₂₀的芳基和C₁～C₁₀的烷氧基组成中的组中的任意一种；m₁、m₂各自独立地为0、1～4中的任意一个整数,n₁、n₂各自独立地为0、1～3中的任意一个整数；R₂为C₁～C₁₀的直链和支链烷基组成中的组中的任意一种；R₃为C₁～C₈的直链和支链亚烷基组成中的组中的任意一种；R₄为氢或甲基；A、B各自独立地代表取代基团,n为1～20中的任意一个整数。该树脂固化性和成膜性较好,与基板的密合性较高且形成的图案的直线性较高。