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锤子
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公开了一种用于测量光刻过程的参数的量测设备,以及相关的计算机程序和方法。该量测设备包括光学系统和透镜阵列,所述光学系统通过利用测量辐射照射衬底上的目标并检测由目标散射的测量辐射来测量目标。阵列中的每个透镜都能够操作,以将散射的测量辐射聚焦到传感器上,从而所述透镜阵列在传感器上形成包括多个子图像的图像,每个子图像由透镜阵列中相应的透镜形成。由此形成的全光图像包括由来自子图像的像平面信息、(来自子图像的相对位置的)波前变形信息、以及来自子图像的相对强度的光瞳信息。
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