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锤子
在纳米压印光刻中减少填充时间的基材预处理.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/26 11:17:06
- 文件大小：2884K
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简介：
本发明涉及在纳米压印光刻中减少填充时间的基材预处理。一种纳米压印光刻方法,其包括将预处理组合物配置在基材上从而形成预处理涂层。预处理组合物包括聚合性组分。离散的压印抗蚀剂部分配置在预处理涂层上,其中压印抗蚀剂的各离散部分覆盖基材的目标区域。随着压印抗蚀剂的各离散部分超出其目标区域展开,复合聚合性涂层形成于基材上。复合聚合性涂层包括预处理组合物和压印抗蚀剂的混合物。复合聚合性涂层与模板接触并且聚合,从而得到在基材上的复合聚合物层。预处理组合物与空气之间的界面能超过压印抗蚀剂与空气之间或压印抗蚀剂的至少一个组分与空气之间的界面能。
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