您还有0次抽奖机会
锤子
消耗积分 : 50积分 移动终端:免积分
衬底具有通过光刻工艺形成在其上的第一目标结构和第二目标结构,光刻工艺包括至少两个光刻步骤。每个目标结构具有形成在单个材料层中的二维周期性结构,其中在第一目标结构中,在第二光刻步骤中限定的特征相对于在第一光刻步骤中限定的特征移位第一偏差量,并且在第二目标结构中,在第二光刻步骤中限定的特征相对于在第一光刻步骤中限定的特征移位第二偏差量。获取第一目标结构的角分辨散射光谱和第二目标结构的角分辨散射光谱,并且从使用在第一目标结构和第二目标结构的散射光谱中发现的不对称的测量来得出光刻工艺的参数的测量。
打开失败或需在电脑查看,请在电脑上的资料中心栏目,点击"我的下载"。建议使用手机自带浏览器。