光刻设备和器件制造方法.pdf

本发明描述了一种用于传感器的初始化方法,传感器被配置成使用相应的多个不同的测量参数来执行对象的属性的多个测量,该多个测量中的不同的测量使用不同的测量参数,方法包括：基于该多个测量估计属性的特性,特性包括由相应的加权系数加权的该多个测量的相应的测量的相应的结果的组合；使用该对象的多个模型,多个模型中的每个相应的模型被配置成使得能够执行该多个测量的相应的仿真；针对多个模型中的相应的模型中的每个执行相应的仿真,相应的仿真包括在相应的多个不同的仿真参数的控制下仿真该多个测量以获得该属性的相应的多个仿真的特性,多个不同的仿真参数指示该多个不同的测量参数；针对多个模型中的每个相应的模型确定相应的偏差,该相应的偏差表示根据相应的模型的该属性的相应的理论特性与相应的模型中的该属性的仿真的特性的相应的进一步组合之间的相应的差；仿真的特性的相应的进一步组合包括多个加权系数,多个加权系数中的每个特定加权系数与多个不同的仿真参数中的特定的一个相关联；使用被配置成优化该属性的仿真的特性与该属性的理论特性之间的对应性的成本函数；该成本函数是多个模型的相应的偏差的函数；优化该成本函数,由此从该成本函数导出多个加权系数；在与传感器相关联的控制器中使用该加权系数以及关联的仿真参数。