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锤子
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一种曝光装置,包括:衬底保持器,所述衬底保持器被构造成支撑衬底;图案形成装置,所述图案形成装置被配置成提供根据所需图案而调制的辐射,所述图案形成装置包括辐射源的多个二维阵列,每个辐射源被配置成发射辐射束;投影系统,所述投影系统被配置成将已调制辐射投影到所述衬底上,所述投影系统包括多个光学元件,所述多个光学元件并排地布置且被布置成使得来自辐射源的二维阵列的辐射束的二维阵列照射所述多个光学元件中的单一光学元件;和致动器,所述致动器被配置成提供在扫描方向上在所述衬底与辐射源的所述多个二维阵列之间的相对运动以曝光所述衬底。
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