测量结构的方法、检查设备、光刻系统、器件制造方法和其中使用的波长选择滤光器.pdf

散射计执行目标结构的一个或更多个参数的基于衍射的测量。为了平行进行双色测量,该结构与具有第一波长和第一角度分布的第一辐射(302)、具有第二波长和第二角度分布的第二辐射(304)同时被照射。收集路径(CP)包括分段的波长选择滤光器(21,310),其被布置成透过被衍射的第一辐射(302X,302Y)和被衍射的第二辐射(304X,304Y)的所需高阶部分,同时阻挡第一辐射和第二辐射的零阶部分(302”,304”)。在一个实施例中,照射路径(IP)包括匹配的分段波长选择滤光器(13,300),其定向为使得通过照射光学系统和收集光学系统的零阶光线依赖于其波长而被所述滤光器之一或其它滤光器阻挡。