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锤子
消耗积分 : 50积分 移动终端:免积分
包括氧化物半导体膜的晶体管的场效应迁移率及其可靠性得到提高。本发明提供一种包括氧化物半导体膜的半导体装置。该半导体装置包括:第一绝缘膜;第一绝缘膜上的氧化物半导体膜;氧化物半导体膜上的第二绝缘膜及第三绝缘膜;以及第二绝缘膜上的栅电极。第二绝缘膜包括氧氮化硅膜。当通过氧等离子体处理对第二绝缘膜添加过剩氧时,可以对氧化物半导体膜高效地供应氧。
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