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锤子
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一种光刻处理,包括:将衬底(W)夹持(CL)到衬底支持件(WT)上;跨被夹持衬底测量(AS)标记的位置;以及使用测量的位置向被夹持衬底施加图案。基于跨衬底测量的位置中的弯曲诱发特性(402、404、406)的识别,在衬底的局部区域中向所施加图案的定位应用校正(WCOR)。在一个实施例中,通过首先使用测量的位置和其他信息(CDAT)推断弯曲衬底(FFW)的一个或多个形状特性来生成校正。然后,基于推断的形状特性,响应于夹持向弯曲衬底的仿真变形应用夹持模型。第三,基于仿真的变形计算所述校正(LCOR)。一些或所有这些步骤可以集成和/或通过查找表来实施。
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