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锤子
在纳米压印光刻中除去基材预处理组合物.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/26 16:20:44
- 文件大小：3788K
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简介：
一种从压印的纳米压印光刻基材除去未固化的预处理组合物的纳米压印光刻方法。该方法包括将预处理组合物配置在纳米压印光刻基材上以形成预处理涂层,和将压印抗蚀剂的离散部分配置在预处理涂层上,压印抗蚀剂的各离散部分覆盖纳米压印光刻基材的目标区域。随着压印抗蚀剂的各离散部分铺展超出其目标区域,在纳米压印光刻基材上形成复合聚合性涂层,并且使复合聚合性涂层与纳米压印光刻模板接触。使复合聚合性涂层聚合以在纳米压印光刻基材上产生复合聚合物层和预处理涂层的未固化部分,并且从纳米压印光刻基材除去预处理涂层的未固化部分。
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