您还有0次抽奖机会
锤子
EUV投射光刻的照明系统.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/26 16:42:42
- 文件大小：1573K
- 下载次数：1
-
消耗积分 : 50积分 移动终端：免积分
简介：
本发明涉及一种EUV投射光刻的照明系统,包含：光束成形光学单元(6),用于从基于同步加速器辐射的光源(2)的EUV原始光束(4)产生EUV聚集输出光束(7)。解耦光学单元(8)用于从所述EUV聚集输出光束(7)产生多个EUV单独输出光束(9-(i))。光束引导光学单元(10)用于在各个情况中引导各EUV单独输出光束(9-(i))朝向物场(11),光刻掩模(12)可布置在所述物场中。结果,照明系统高度无损失,并且同时灵活引导基于同步加速器辐射的光源的EUV光。
打开失败或需在电脑查看，请在电脑上的资料中心栏目，点击"我的下载"。建议使用手机自带浏览器。
下载该资料的还下载了
推荐学习更多>>
-
￥50 -
￥50
-
￥50
-
￥50
- 注意：
- 1、下载文件需消耗流量，最好在wifi的环境中下载，如果使用3G、4G下载，请注意文件大小。
- 2、下载的文件一般是pdf、word文件，下载后如不能直接浏览，可到应用商店中下载相应的阅读器APP。
- 3、下载的文件如需解压缩，如果手机没有安装解压缩软件，可到应用商店中下载相应的解压缩APP。