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锤子
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本申请提供一种用于自底向上的立体光刻装置的孔系统,所述孔系统包括具有下部开口的储液器、孔和边界密封件,所述孔包括定位在储液器内并覆盖下部开口的柔性隔膜,所述边界密封件包括围绕柔性隔膜的周边定位,所述边界密封件包括一个或多个边界密封部件,并且抵靠储液器固定柔性隔膜的周边。柔性隔膜由对立体光刻装置中使用的液体树脂以及由该装置制造的固化的光聚合物树脂部件具有低亲和性的材料形成。另外,当将固化的树脂部件从孔中拉出时,柔性隔膜能够变形,因此使得在固化的树脂和孔之间的界面处发生较低能量的混合模式粘合破坏,并且降低了对固化的光聚合物部件的内聚破坏的机会。
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