训练用于计算光刻术的机器学习模型的方法.pdf

本文描述了训练与图案化过程相关的机器学习模型的不同方法。本文描述了一种用于训练被配置成预测掩模图案的机器学习模型的方法。该方法包括获得：(i)图案化过程的被配置成预测衬底上的图案的过程模型,其中该过程模型包括一个或更多个经训练的机器学习模型；和(ii)目标图案；以及由硬件计算机系统基于过程模型和成本函数来训练被配置成预测掩模图案的机器学习模型,该成本函数确定预测图案与目标图案之间的差异。