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锤子
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本发明提供一种半导体晶圆的测试结构,其中,包括,包括一第一测试垫,一第二测试垫,一第三测试垫及一第四测垫;一第一电阻,两端分别连接所述第一测试垫及所述第二测试垫;一第二电阻,两端分别连接所述第三测试垫及所述第四测试垫;一第三电阻,两端分别连接所述第二测试垫及所述第三测试垫。本发明技术方案的有益效果为:排除探针测试机台的探针对半导体晶圆上电阻测试结构的测试结果造成的影响,结构简单,不改变现有测试结构的整体布局,不影响测试结构占用晶圆的面积,并可根据晶圆版图进行调整适配。
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