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锤子
一种半导体原位高分辨可视化在线监测装置.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/26 20:43:55
- 文件大小：305K
- 下载次数：1
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简介：
本发明涉及一种半导体原位高分辨可视化在线监测装置,包括：光谱仪模块,其用于向所述半导体沉积材料表面投射激光光源,所述激光光源作用于所述半导体沉积材料表面被吸收后发射回光信号；光探测器模块,用于探测所述回光信号；高分辨图像采集模块,用于采集所述半导体沉积材料表面的实时图像信息；监测模块,其用于根据所述回光信号和所述图像信息确定出所述半导体沉积材料的光谱数据和形貌数据。本发明所述的在线监测装置,通过集成光谱仪模块、光探测器模块以及高分辨图像采集模块,从而实现对半导体沉积材料的实时且精确的形貌监测和光谱监测,最终获得半导体沉积材料精确的形貌数据和光谱数据。
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