一种光刻机硅片台双台交换装置.pdf

一种光刻机硅片台双台交换装置,该装置含有基台,运行于预处理工位硅片台,运行于 曝光工位的硅片台。在基台两侧长边边缘分别设置有一条直线电机定子与两个X方向运动的 单自由度驱动单元组成直线电机,一条Y方向的导轨穿过硅片台,Y方向的导轨分别与基 台两侧的X方向运动的单自由度驱动单元联结,共同驱动硅片台在X-Y平面运动,在基台下 方装有大功率旋转电机,在两硅片台完成预处理和曝光运动后,旋转整个基台,以完成硅片 台工位的交换。本实用新型避免了只有硅片台参与交换所带来的要求极高的导轨对接精度,以及 需增加对接辅助装置等缺陷,大大简化了系统结构；二是该系统双台交换采用4个完全相同 的单自由度驱动单元实现,系统的复杂性大大降低。