您还有0次抽奖机会
锤子
消耗积分 : 50积分 移动终端:免积分
本实用新型涉及一种光刻系统,包括光筒、用于移动目标诸如晶片的可移动目标载体,以及差分干涉仪模块,其中所述干涉仪模块适用于向着第二反射镜发射三个参考射束,并且向着第一反射镜发射三个测量射束,以便确定所述第一反射镜和第二反射镜之间的位移。在一个优选实施例中,相同模块适还用于测量绕着两个垂直轴的相对旋转。本实用新型还涉及一种用于测量这种位移和旋转的干涉仪模块。
打开失败或需在电脑查看,请在电脑上的资料中心栏目,点击"我的下载"。建议使用手机自带浏览器。