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锤子
一种改善直拉半导体单晶品质的液位探针.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/27 9:05:26
- 文件大小：192K
- 下载次数：1
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简介：
本实用提供一种改善直拉半导体单晶品质的液位探针,包括：定位装置,所述定位装置安装于水冷套的内壁,用于限定液位探针的安装位置；隔绝装置,所述隔绝装置用于隔绝所述液位探针和所述水冷套；液位测量装置,所述液位测量装置用于测量液位；所述定位装置、所述隔绝装置和所述液位测量装置连接于所述液位探针上。本实用的有益效果是通过增加新材料代替,降低单晶品质风险；安装过程中减少繁琐操作步骤,便于装配,改善了单晶存在品质异常的风险；减少投料过程中磕碰的概率,采用石英环避免了液位探针中的陶瓷环在投料过程中磕碰掉入溶硅中,导致品质异常。
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