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锤子
照明单元以及半导体检测设备.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/27 9:06:51
- 文件大小：544K
- 下载次数：1
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消耗积分 : 50积分 移动终端：免积分
简介：
一种照明单元以及半导体检测设备,所述照明单元包括：发光结构,用于提供检测光；腔室,位于所述发光结构光路的底部,所述腔室具有供所述检测光通过的开口,所述腔室用于设置待检测晶圆；反光结构,在所述腔室中,且位于所述开口和晶圆之间,用于反射所述检测光至所述晶圆表面。本实用新型实施例提供的照明单元工作时,发光结构提供的检测光穿过所述腔室的开口,经反光结构能够精准的反射至晶圆边缘,使得晶圆边缘能够被照亮,便于确定晶圆在腔室中的位置,以及便于依据晶圆上的缺口位置确定晶圆的转角。
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