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锤子
等离子体发生设备和半导体加工设备.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/27 9:13:03
- 文件大小：684K
- 下载次数：1
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简介：
本实用新型涉及一种等离子体发生设备和半导体加工设备,该等离子体发生设备包括第一框架、第二框架和锁定件；其中,第一框架与线圈固接；第二框架与腔室固接；线圈设置于腔室的外部,用于在线圈通电后,在腔室的内部产生等离子体；第二框架与第一框架相配合,且第二框架与第一框架的至少一部分的配合位置的形状为曲面,以使得第一框架与第二框架之间能够进行沿所述曲面的相对转动；锁定件用于锁定第一框架与第二框架之间的相对转动。利用本实用新型的等离子体发生设备和半导体加工设备,能够对等离子发生设备中的线圈的水平度进行快速调节。
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