您还有0次抽奖机会
锤子
一种半导体加工设备.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/27 9:24:26
- 文件大小：421K
- 下载次数：1
-
消耗积分 : 50积分 移动终端：免积分
简介：
本实用新型涉及一种半导体加工设备,包括进气部、升降部以及腔体,进气部包括螺旋进气管,螺旋进气管设置在腔体的内部,升降部与进气部连接以控制螺旋进气管在腔体的内部升降,螺旋进气管的主体被构造成由多个弧形部形成的对称结构,多个弧形部具有相同的圆心,多个弧形部中的每两个对称,对称的弧形部接触以形成多个匀气部,多个匀气部之间形成匀气区域,多个弧形部上均设置有进气孔,进气孔朝向多个弧形部的圆心。本实用新型能够提高半导体加工设备内硅晶圆周围的气体的均匀性分布并能够调整气体浓度。
打开失败或需在电脑查看，请在电脑上的资料中心栏目，点击"我的下载"。建议使用手机自带浏览器。
推荐学习更多>>
-
￥50 -
￥50
-
￥50
-
￥50
- 注意：
- 1、下载文件需消耗流量，最好在wifi的环境中下载，如果使用3G、4G下载，请注意文件大小。
- 2、下载的文件一般是pdf、word文件，下载后如不能直接浏览，可到应用商店中下载相应的阅读器APP。
- 3、下载的文件如需解压缩，如果手机没有安装解压缩软件，可到应用商店中下载相应的解压缩APP。