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锤子
反应腔体及半导体加工设备.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/27 9:25:37
- 文件大小：334K
- 下载次数：1
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消耗积分 : 50积分 移动终端：免积分
简介：
本实用新型公开了一种反应腔体及半导体加工设备,该反应腔体包括：腔体本体、隔离盖板和密封装置；其中,腔体本体的顶部设置有开口结构,沿开口结构的周缘设置有基座,基座连接于腔体本体；密封装置设置于基座上,隔离盖板盖设于开口结构,密封装置抵靠于隔离盖板；当隔离盖板盖设于开口结构,密封装置形成密闭空间。本实用新型通过在密封装置处形成密闭空间,在腔室内的气体泄漏时,该密闭空间会进一步阻止易燃易爆、毒性的气体释放到空气中,进一步保证了设备和人员的安全。
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